| Источник |
до 3 кВт, мишени Cu, Mo, Co, Cr, Fe и др. |
| Фокус |
линейный — 12 × 0.04 мм,
точечный — 1.2 × 0.4 мм |
| Генератор |
2–60 кВ, 2–50 мА |
| Гониометр |
вертикальный, θ/θ; радиус — 245 мм, шаг — 0.0001°,
диапазон — -110°–160° |
| Модули |
автоматические щели и лопасти подавления воздуха |
| Детектор |
однолинейный массив, макс. счёт: 1×10⁶ CPS,
энергетическое разрешение 678 ± 5 эВ |
| Размер |
1029 × 1350 × 1955 мм |
| Вес |
680 кг |
| Питание |
AC 220–230V ±10 %, 50/60 Гц, 40 А |
| Охлаждение |
давление до 0.7 МПа, расход — 3.5 л/мин |