Трехлучевая система ионного травления

Leica EM TIC 3X позволяет получать прецизионные поперечные и плоские срезы образцов и выполнять полировку поверхности для проведения исследований методами:

• Сканирующей электронной микроскопии
• Рентгеновской спектроскопии и микроанализа
• Дифракции отраженных электронов
• Атомно-силовой микроскопии, Оже-спектроскопии и др.

Преимущества:

• Одновременное травление с помощью трёх аргонных (Ar) ионных пушек
• Работа с образцами размером до 50x50x10 мм или диаметром до 38 мм
• Широкие и глубокие срезы, равномерное травление большой площади образца (> 4×1 мм)
• Высокая производительность: травление материала со скоростью до 300 мкм/час (Si 10 кВ, 3.5 мА, 100 мкм от края)
• Возможность подготовки твердых, мягких, пористых, термо- и химически- чувствительных, хрупких и/или гетерогенных материалов
• Улучшение топографического контраста за счет автоматизированных процедур ионной полировки поверхности
• 4 типа сменных держателя образцов для оптимизации рабочих процессов
• Встроенный стереомикроскоп - контроль процесса травления и манипуляции с образцами
• Возможность работы в вакуумных и криогенных (до -160°C) условиях
• Высокая воспроизводимость результатов
• Сенсорная панель управления, интуитивно понятный интерфейс