| Модель |
AF-T050 |
AF-T010 |
AF-T001 |
AF-T100 |
AF-X010 |
| Диапазон длины волны |
400-850nm |
250-1050nm |
190-1100nm |
900-1700nm |
250-1700nm (2200nm) |
| Диапазон измеряемой толщины |
50nm-100µm |
10nm-100µm |
1nm-100µm |
100nm-250µm |
10nm up to 250µm |
| Разрешающая способность |
0.01nm |
0.01nm |
0.01nm |
0.01nm |
0.01nm |
| Точность измерения |
0.2%&1nm |
0.2%&1nm |
0.2%&1nm |
0.5%&2nm |
0.5%&1nm |
| Повторяемость |
0.1nm |
0.1nm |
0.1nm |
0.3nm |
0.2nm |
| Стабильность |
0.05nm |
0.05nm |
0.05nm |
0.1nm |
0.08nm |
| Угол падения |
90° |
| Количество измеряемых слоёв |
10 слоев |
| Измерение показателя преломления |
Возможно измерить |
| Измеряемые материалы |
Прозрачные или полупрозрачные материалы |
| Метод измерения |
Отражение (Рефлектометрия) |
| Измерение шероховатых материалов |
Возможно измерить |
| Частота сбора данных онлайн |
100ms~1s |
| Рабочее расстояние |
Стандартно: 1,5–3 мм, максимум до 50 мм (необходимо дополнительное оборудование) |
| Размер светового пятна |
100µm или 200µm или 400µm |
| Функция картографирования |
Поддерживается (необходимо дополнительное оборудование) |
| Индивидуальная настройка под клиента |
Кастомизация ПО и АО в соответствии с требованиями заказчика |
