Исследовательские системы Leica DM8000 и DM12000 разработаны для исследований в области микроэлектроники. Системы имеют возможность макронаблюдения за образцами.
Они оснащены специальным моторизованным предметным столиком для кремниевых пластин и светодиодным ультрафиолетовым осветителем для улучшения контраста изображения.
Микроскоп Leica DM8000 и DM12000
Исследовательские системы Leica DM8000 и DM12000 заключают в себе одни из самых передовых технологий, используемых для исследования элементов микроэлектроники и полупроводников. Модели отличаются высокой степенью автоматизации, а также возможностью наблюдения в макрорежиме с полем зрения 40 мм, открывающим возможность увидеть большую область образца для оценки общей морфологии или найти нужное место и переключиться в микро режим наблюдения для инспекции дефектов в высоком разрешении на больших увеличениях с использованием различных методов контрастирования. Переход из макро- в микрорежим наблюдения и наоборот может быть осуществлен нажатием одной кнопки.
Ультрафиолетовый светодиодный осветитель с длиной волны 365 нм обеспечивает более высокое разрешение по сравнению с обычными осветителями, а его одновременное использование с методом косого освещения дополнительно повышает резкость изображения. Как DM8000, так и DM12000 поддерживают наблюдение за образцами в отраженном и проходящем свете. Обе системы оснащены широким набором из методов контрастирования: светлое и темное поле, поляризация и дифференциально-интерференционный контраст. Дополнительно можно установить инфракрасный осветитель.
Предметный столик позволяет располагать образцы до приблизительно 305 мм в диаметре. Дополнительно можно установить вакуумную систему, которая снижает колебания образца при быстром перемещении.
Для плоских образцов с высокой отражающей способностью, например, чистых кремниевых пластин, есть функция поиска фокуса. Она позволяет сфокусироваться на поверхности, даже если визуально невозможно найти точку фокусировки.
Микроскоп Leica DM8000
Новая система Leica DM8000 оснащена современной оптической системой для инспекции тонкопленочных транзисторов, жидкокристаллических мониторов, а также полупроводников и компонентов электроники. Отличительными особенностями являются внедрение режима макронаблюдения, который увеличивает область видимости в 4 раза и косого метода освещения в ультрафиолете.
Преимущества
- макрорежим наблюдения с полем зрения 40 мм
- переключение между макро- и микрорежимом наблюдения нажатием одной кнопки
- метод косого освещения в ультрафиолете, который обеспечивает наблюдение за образцами в высоком разрешении под различными углами
- высокая эргономика дизайна обеспечивает длительный процесс работы с удобством
- LED система освещения с большим сроком службы и малым потреблением электроэнергии
Характеристики
- Турель объективов: 6 позиций
- Тип турели: моторизованный
- Методы контрастирования (проходящий свет): светлое поле, поляризация
- Методы контрастирования (отраженный свет): светлое поле, Номарского (ДИК), косое освещение, ультрафиолет, косое освещение в ультрафиолете
- Механизм фокусировки: ручной; высокоточный с 3 ручками или моторизованный
- Ход: 35 мм
- Тип предментного столика: ручной или для сканирования
- Размер предметного столика: 202 x 202 мм
- Функциональность: интегрированное ПО регулировки контраста и яркости
Микроскоп Leica DM12000
Модель отличается более большим предметным столиком для наблюдения за образцами больших размеров.
Преимущества
- макрорежим наблюдения с полем зрения 40 мм
- переключение между макро- и микрорежимом наблюдения нажатием одной кнопки
- метод косого освещения в ультрафиолете, который обеспечивает наблюдение за образцами в высоком разрешении под различными углами
- высокая эргономика дизайна обеспечивает длительный процесс работы с удобством
- LED система освещения с большим сроком службы и малым потреблением электроэнергии
Характеристики
- Турель объективов: 6 позиций
- Тип турели: моторизованный
- Методы контрастирования (проходящий свет): светлое поле, поляризация
- Методы контрастирования (отраженный свет): светлое поле, Номарского (ДИК), косое освещение, ультрафиолет, косое освещение в ультрафиолете
- Механизм фокусировки: ручной; высокоточный с 3 ручками или моторизованный
- Ход: 35 мм
- Тип предментного столика: ручной или для сканирования
- Размер предметного столика: 302 x 302 мм
- Функциональность: интегрированное ПО регулировки контраста и яркости
