Дифракционный 3D-эллипсометр

Дифракционный 3D-эллипсометр

NM-300

Запросить стоимость

Полученные с помощью алгоритма прямого оптического моделирования симулированные оптические параметры сопоставляются с фактическими измеренными оптическими параметрами.

С использованием алгоритма Левенберга–Марквардта (LM), сопоставления с базой данных и нейросетевых алгоритмов извлекаются структурные параметры дифракционной решетки образца — такие как коэффициент заполнения, толщина и угол боковых стенок.

характеристики
Повторяемость измерения трёхмерного профиля (XYZ) <0.5nm
Точность измерения трёхмерного профиля (XYZ) <2%
Повторяемость измерения толщины плёнки 0.01nm
Диапазон измерения толщины плёнки 0.5um-20um
Повторяемость измерения показателя преломления 0.0005
Размер светового пятна 150um
Спектральный диапазон 245-1000nm
Минимально измеряемый критический размер (CD) ≥20nm
Ширина малых линий может быть настроена по запросу
Система перемещения XYZ Электрическая
Способ фокусировки Автоматический

Производитель

Подробнее о бренде