Полученные с помощью алгоритма прямого оптического моделирования симулированные оптические параметры сопоставляются с фактическими измеренными оптическими параметрами.
С использованием алгоритма Левенберга–Марквардта (LM), сопоставления с базой данных и нейросетевых алгоритмов извлекаются структурные параметры дифракционной решетки образца — такие как коэффициент заполнения, толщина и угол боковых стенок.
характеристики
Повторяемость измерения трёхмерного профиля (XYZ)
<0.5nm
Точность измерения трёхмерного профиля (XYZ)
<2%
Повторяемость измерения толщины плёнки
0.01nm
Диапазон измерения толщины плёнки
0.5um-20um
Повторяемость измерения показателя преломления
0.0005
Размер светового пятна
150um
Спектральный диапазон
245-1000nm
Минимально измеряемый критический размер (CD)
≥20nm
Ширина малых линий может быть настроена по запросу
Мы поможем вам подобрать и купить необходимое оборудование для лаборатории. Компания «ФИАНУМ ЛАБ» работает с производителями напрямую, потому у нас объективные цены на всю продукцию и устройства!
