Разрешение

3 нм@30 кВ (SE)

6 нм@30 кВ (BSE)

Увеличение

8x~300000x

Электронная пушка

центрированный картридж с вольфрамовым катодом

Напряжение

Ускоряющее напряжение 0~30 кВ, шаг изменения 100 В@0-10 кВ, 1 кВ@10-30 кВ

Быстрый кадр

Нажатием одной кнопки

Система линз

Трехлинзовая

Апертуры

3 молибденовых апертурных диафрагмы объектива, прецизионный механизм выбора и юстировки апертур

Вауумная система

1 турбомол. насос

1 форвак. насос

Вакуум в камере<2,6E-3Па

Вакуум в пушке<2,6E-3Па

Полностью автоматическая вакуумная система

Функция внешнего интерлока

Для модели: A63.7069-LV

2 форвак. насоса

Режим низкого вакуума диапазон: 10-270 Па

Время переключения режима вакуума < 90 c

Детекторы

SE: Высоковакуумный дет. вторичных электронов (с защитой от удара)

BSE: твердотельный 4х-сегментный дет. обратно-рассеянных электронов

BSE(LV): твердотельный 4х-сегментный дет. обратно-рассеянных электронов 

CCD: ИК ПЗС Камера

Порты расширения

2 порта на вакуумной камере для EDS, BSD, WDS и др.

Координатный стол

5-осевой стол, 4 мот. + 1 ручная ось

Диапазон перемещения:X=70 мм, Y=50 мм, Z=45 мм, R=360°, T=-5°~+90°(ручное)

Датчик касания с функцией остановки

Размер образца

диам. 175 мм, высота 35 мм

Изображение

Максимальный размер 4096x4096 пикселей, 

Формат изображения: BMP (по умолчанию), GIF, JPG, PNG, TIF

Рабочая станция

ОС Windows 10, профессиональное ПО управления микроскопом и анализа изображений, Спецификация компьютера не хуже Intel Core i5 3,2ГГц, 4Гб ОП, 24" ЖК IPS монитор, 500Гб диск, мышь, клавиатура 

Отображение

Отображение увеличения и масштабного отрезка в реальном времени, интерактивная линейка для измерения, гистограмма изображения

Габариты и вес

СЭМ: 800x800x1850  мм

Стол оператора:

1340x850x740 мм

Общий вес 400 кг

Опции:

Энергодисперсионный рентгеновский спектрометр

A50.7011 Ионная установка напыления