Дифракционный 3D-эллипсометр
NM-300
| Модел | NM-300 |
| Lead | Дифракционный 3D-эллипсометр |
2 года
сервисный центр
пусконаладки
персонала
Полученные с помощью алгоритма прямого оптического моделирования симулированные оптические параметры сопоставляются с фактическими измеренными оптическими параметрами.
С использованием алгоритма Левенберга–Марквардта (LM), сопоставления с базой данных и нейросетевых алгоритмов извлекаются структурные параметры дифракционной решетки образца — такие как коэффициент заполнения, толщина и угол боковых стенок.
| Повторяемость измерения трёхмерного профиля (XYZ) | <0.5nm |
| Точность измерения трёхмерного профиля (XYZ) | <2% |
| Повторяемость измерения толщины плёнки | 0.01nm |
| Диапазон измерения толщины плёнки | 0.5um-20um |
| Повторяемость измерения показателя преломления | 0.0005 |
| Размер светового пятна | 150um |
| Спектральный диапазон | 245-1000nm |
| Минимально измеряемый критический размер (CD) | ≥20nm Ширина малых линий может быть настроена по запросу |
| Система перемещения XYZ | Электрическая |
| Способ фокусировки | Автоматический |
Ответим на вопросы
Реализованные проекты по оснащению лабораторий
Университет ИТМО,
центр «ИТМО-Газпромнефть»
Санкт-Петербург, 2025 г.
Задача: комплексное оснащение лаборатории исследования флюидов
Подробнее
Университет ИТМО,
центр «ИТМО-Газпромнефть»
Санкт-Петербург, 2025 г.
Задача: комплексное оснащение лаборатории исследования флюидов
Решение: сборное решение от ГК «ФИАНУМ ЛАБ»
- ЯМР-Анализатор собственного производства ГК «ФИАНУМ ЛАБ» (РФ), собственной разработки (серийно выпускаемая модель)
- Анализатор текстуры Brookfield CTX (США)
- Анализатор стабильности дисперсных систем и эмульсий Data Physics (Германия)
Подобрано под бюджет заказчика (30 млн. руб.), в соответствии с поставленной задачей, осуществлена комплексная поставка лаборатории в сжатые сроки (за 2 месяца с момента заключения договора). По договоренности с руководителем проекта, в целях выполнения сроков, заказы на производство были размещены за 3 месяца ДО заключения контракта. Пуско-наладочные работы и техническое обслуживание осуществляется полностью собственными силами, в том числе на импортные позиции производства США и Германии.
Санкт-Петербургский Горный Университет,
центр «Арктика»
Санкт-Петербург, 2022 г.
Задача: оснащение лаборатории исследования газовых гидратов
Подробнее
Санкт-Петербургский Горный Университет,
центр «Арктика»
Санкт-Петербург, 2022 г.
Задача: оснащение лаборатории исследования газовых гидратов
Решение: осуществлено эскизное проектирование лаборатории, авторский надзор, проектирование и поставка вспомогательного оборудования, поставка оборудования PSL Systemtechnik (Германия), пуско-наладочные работы и техническое обслуживание, расширенная гарантия.
Бюджет проекта: 25 млн. руб.
Университет МИРЭА,
лаборатория керамических материалов и технологий
Москва, 2024 г.
Задача: поставка сканирующего электронного микроскопа
Подробнее
Университет МИРЭА,
лаборатория керамических материалов и технологий
Москва, 2024 г.
Задача: поставка сканирующего электронного микроскопа
Решение: подобрано импортное оборудование, осуществлена поставка, пуско-наладочные работы и техническое обслуживание в рамках гарантийного срока.
Бюджет проекта: 20 млн. руб.
Университет НГУ,
лаборатория нанотрубок
Новосибирск, 2025 г
Задача: поставка оптического микроскопа
Подробнее
Университет НГУ,
лаборатория нанотрубок
Новосибирск, 2025 г
Задача: поставка оптического микроскопа
Решение: подобрано импортное оборудование (Leica Microsystems GmbH, Германия), осуществлена поставка, пуско-наладочные работы и техническое обслуживание в рамках гарантийного срока.
Бюджет проекта: 9 млн. руб.
Университет МГТУ им. Н.Э. Баумана,
лаборатория трибологических исследований
Москва, 2024 г.
Задача: поставка трибометра – установки для испытания материалов на трение и износ
Подробнее
Университет МГТУ им. Н.Э. Баумана,
лаборатория трибологических исследований
Москва, 2024 г.0
Задача: поставка трибометра – установки для испытания материалов на трение и износ
Решение: произведен и поставлен трибометр «ФИАНУМЛАБ-ТРИБОТЕСТ 02» собственной разработки (серийно выпускаемая модель).
Бюджет проекта: 16 млн. руб.
Университет НГТУ,
кафедра материаловедения
Новосибирск, 2025 г.
Задача: поставка трибометра – установки для испытания материалов на трение и износ
Подробнее
Университет НГТУ,
кафедра материаловедения
Новосибирск, 2025 г.
Задача: поставка трибометра – установки для испытания материалов на трение и износ
Решение: произведен (локализация производства компании DUCOM Instruments) и поставлен трибометр типа «Twin Disc» (серийно выпускаемая модель).
Бюджет проекта: 37 млн. руб.
ПАО «ЕВРАЗ», НТМК,
испытательный центр
Нижний Тагил, 2024-2025 г.
Задача: : комплексное оснащение испытательного центра
Подробнее
ПАО «ЕВРАЗ», НТМК,
испытательный центр
Нижний Тагил, 2024-2025 г.
Задача: : комплексное оснащение испытательного центра
- Трибометр собственного производства ГК «ФИАНУМ ЛАБ» (РФ), собственной разработки (разработка по ТЗ заказчика)
- Произведен (локализация производства компании DUCOM Instruments) и поставлен трибометр типа «Twin Disc» (серийно выпускаемая модель)
- Испытательная установка типа «Абразиметр» производства DUCOM Instruments (Нидерланды)
Подобрано под бюджет заказчика, в соответствии с поставленной задачей, осуществлена комплексная поставка испытательных стендов. Пуско-наладочные работы и техническое обслуживание осуществляется полностью собственными силами, в том числе на импортные позиции. Осуществляется гарантийное и пост-гарантийное техническое обслуживание.
ПАО «РОСНЕФТЬ», РН-БашНИПИнефть,
лаборатория пластовых флюидов
Уфа, 2024-2025 г.
Задача: комплексное оснащение лаборатории исследования флюидов
Подробнее
ПАО «РОСНЕФТЬ», РН-БашНИПИнефть,
лаборатория пластовых флюидов
Уфа, 2024-2025 г.
Задача: комплексное оснащение лаборатории исследования флюидов
Решение: поставка и техническое обслуживание установок PSL Systemtechnik GmbH
Поставлены и успешно введены в эксплуатацию 3 установки исследования нефтегазовых флюидов производства PSL Systemtechnik GmbH (Германия). Осуществляется гарантийное и пост-гарантийное техническое обслуживание полностью собственными силами.
Бюджет проекта: 70 млн. руб.

