|
Конфигурации
|
OLS5100-SAF (линейные измерения сшитых изображений, моторизованный XY-столик 100x100 мм, макс. высота образца 100 мм)
OLS5100-SMF (ручной XY-столик 100x100 мм, макс. высота образца 40 м)
OLS5100-LAF (моторизованный XY-столик 300x300 мм, макс. высота образца 37 мм)
OLS5100-EAF (линейные измерения сшитых изображений, моторизованный XY-столик 100x100 мм, макс. высота образца 210 мм)
|
|
Методы контрастирования
|
Светлое поле (BF)
Дифференциально-интерференционный контраст (DIC)
Простая поляризация (PO)
Лазерный режим
|
|
Возможность моторизации
|
Да
|
|
Общий коэффициент увеличения
|
От 54x до 17280x
|
|
Поле обзора
|
16 мкм — 5120 мкм
|
|
Принцип измерения
|
Оптическая система: Отражательный конфокальный лазерный сканирующий микроскоп Отражательный конфокальный лазерный сканирующий ДИК-микроскоп Цвет: Цвет-ДИК
Фотодетектор: Лазер: Фотоумножитель (2-канальный) Цвет: Цветная камера с КМОП-матрицей
|
|
Измерение высоты
|
Разрешение экрана: 0,5 нм Динамический диапазон: 16 бит Воспроизводимость σn-1: 5X:0,45 мкм, 10X:0,1 мкм, 20X : 0,03 мкм, 50X : 0,012 мкм, 100X : 0,012 мкм Погрешность: 0,15+L/100 мкм (L: измеряемая длина [мкм]) Погрешность для сшитого изображения: 10X:5,0+L/100 мкм, 20X или больше : 1,0+L/100 мкм (L: длина сшивки [мкм]) Помехи при измерении (Sq): 1 нм
|
|
Измерение ширины
|
Разрешение экрана: 1 нм Воспроизводимость 3σn-1: 5X : 0,4 мкм, 10X : 0,2 мкм, 20x : 0,05 мкм, 50X : 0,04 мкм, 100X : 0,02 мкм Погрешность: Значение измерения +/- 1,5 % Погрешность для сшитого изображения
|
|
Максимальное количество точек измерения в одном измерении
|
|
|
Максимальное количество точек измерения
|
|
|
Источник лазерного излучения
|
Длина волны: 405 нм Максимальная выходная мощность: 0,95 мВт Класс лазера: Класс 2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
|
|
Источник цветного света
|
|